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金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(MOCVD)是利用金屬有機(jī)化合物作為源物質(zhì)的一種化學(xué)氣相淀積(CVD)工藝。
MOCVD概述
著眼點(diǎn):選擇特殊的反應(yīng),來降低反應(yīng)溫度。
原料:金屬的烷基,芳基,氫基,乙酰丙酮基衍生物。
MOCVD廣泛被關(guān)注與LED的興起有關(guān)。在藍(lán)光LED芯片的生長中,一般都是使用MOCVD作為生長工具。這是由藍(lán)光LED芯片的制作工藝特性決定的。
以AIXTRON公司的MOCVD為例,主要是由反應(yīng)室,傳送室,射頻源以及氣路部分構(gòu)成。
它是利用金屬有機(jī)源和參與反應(yīng)的進(jìn)程氣體在一個低壓高溫的反應(yīng)室中進(jìn)行淀積,以生長出具有復(fù)雜摻雜層的芯片。
MOCVD設(shè)備昂貴,配套設(shè)施以及所需原材料也昂貴無比。確實(shí)是燒錢的機(jī)器。
在出現(xiàn)MOCVD之前,MBE算是最厲害的燒錢機(jī)器,以前大家都叫MBE為Money Burn Equipment。現(xiàn)在應(yīng)該讓給MOCVD了。
世界上最大的兩家MOCVD生產(chǎn)商為德國的AIXTRON和美國的VEECO。AIXTRON收購了Thomas,VEECO收購了Emcore?,F(xiàn)在是這兩家獨(dú)大。日系的MOCVD一般只在日本本土占有市場。
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